UHN5-1EL 准分子/飞秒激光发生器专用仪

针对准分子/飞秒激光设备研发的高纯氮气发生器,融合进口分子筛模块与本土精密装配工艺,集成三级深度净化单元,输出氮气纯度≥99.999%,适配激光器激发腔体吹扫与光学组件保护全流程用气需求。满足准分子/飞秒激光对气源无杂质、低湿度、高稳定性的严苛要求,显著提升设备加工精度与使用寿命。

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